朱金龙博士“面向下一代半导体集成电路芯片的纳米测量/检测技术与装备”报告会成功举办

时间:2020-07-26浏览:10

724日上午935美国伊利诺伊大学香槟分校朱金龙博士后Zoom会议室受邀做术报告面向下一代半导体集成电路芯片的纳米测量/检测技术与装备四十余位师生云端相聚此次报告。报告会由精密机械与精密仪器系执行主任刘诚教授主持。

 

朱金龙博士给与会师生带来了一场精彩的学术报告。朱金龙博士强调纳米传感技术是拥有广大市场需求并充当着探索未知世界第一步骤的重要技术,然而在光学纳米传感领域,传统手段存在弱散射、共振条件等诸多挑战,其中一个则是传感过程不可视的问题。通过使用反对称态的纳米线传感,使传统显微镜能在亚衍射限制的范围内对纳米尺度的物体直接感知与成像,实现纳米尺寸物体的可视化传感。此外,朱金龙博士后还详细介绍了使用光学电动态显微镜(OEM)与深度学习作缺陷检测以及3D形貌重构的IC计量技术。在自由讨论环节,与会师生积极提问交流,反响热烈。

 

 

 

 

本次报告会由研究生教育创新项目支持。

精密机械与精密仪器系)


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